Thẻ: Máy quang khắc

Máy quang khắc (Photolithography machine) là thiết bị cốt lõi trong quy trình sản xuất vi mạch bán dẫn. Công nghệ này sử dụng ánh sáng để in các họa tiết siêu nhỏ lên bề mặt tấm wafer silicon, từ đó tạo ra hàng tỷ transistor trong một con chip.